第344章 ?全军出击(5 / 5)

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  “具体如何拿捏,我有一定头绪。先简单说一下,大家共同探讨。”
  辛启天抱起果汁,喝了一大口,接着说道:“光刻机分为紫外光源、深紫外光源、极紫外光源。”
  “最早的光刻机光源,是汞灯产生的紫外光源uv。”
  “后来,采用准分子激光的duv。”
  “可以预见的是,arf最高只能实现22nm制程的生产。”
  “euv是现在的主流,可是只有飞利浦发展而来的asml公司,可以提供量产的euv机器。” ↑返回顶部↑

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